激光沖擊波驅(qū)動微結構研究.pdf

1、隨著MEMS(微機電系統(tǒng))系統(tǒng)朝著體積小、成本低、效率高等方向的發(fā)展,改善其驅(qū)動方式也變得迫在眉睫。而基于激光沖擊波力學效應的驅(qū)動具有噪音小、負載能力強、安全易控制、能量利用率高等諸多優(yōu)點,非常符合新型MEMS的驅(qū)動需求,是一個很值得深入研究的新領域。
　　首先,本文利用表面分別貼有鋁、硅、不銹鋼、銅四種材料薄片作為犧牲層的微小懸臂梁,在無約束層的直接燒蝕模式下使用波長1064nm的紅外激光和波長248nm的紫外激光分別進行激光沖

2、擊波的驅(qū)動實驗和動力學仿真,深入研究了激光輸出功率密度、激光工作頻率、犧牲層材料的不同屬性對驅(qū)動效果的影響,同時就宏觀的實驗現(xiàn)象和微觀的理論研究出發(fā),討論了兩種不同激光驅(qū)動效果的優(yōu)劣。
　　其次,在研究各激光參數(shù)和犧牲層材料對水約束模式下驅(qū)動效果的影響時,還對水約束模式下激光與靶材的相互作用機制進行了討論,觀察并詳細分析了該模式下驅(qū)動效果較直接燒蝕模式的改善和加強,對比了驅(qū)動實驗和流固耦合的動力學仿真的結果,并在理論缺陷和實驗條件