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文檔簡介
1、近年來,微機電制造技術的發(fā)展使得薄膜體聲波諧振器(FBAR)獲得了廣泛的商業(yè)應用。一方面,FBAR在移動通信領域扮演著重要角色,由于FBAR射頻器件具有體積小、工作頻率高、插入損耗小、功率容量大等優(yōu)點,FBAR振蕩器、濾波器、雙工器已經廣泛應用于移動通信領域。另一方面,FBAR在傳感器領域也發(fā)展迅速,FBAR傳感器的高靈敏度和高可靠性引起了人們的廣泛研究興趣。目前,已報道的FBAR傳感器有微質量傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器、濕度傳感器
2、、紫外線傳感器等。雖然FBAR傳感器的發(fā)展仍然處于實驗室研究階段,但隨著對其研究的不斷深入,相信不久的將來,它將會被廣泛應用于很多領域。
本文首先在對FBAR的結構、原理、等效電路模型以及制作工藝等做了簡單的歸納與總結的基礎上,提出了一種利用犧牲層材料制作體硅刻蝕型FBAR的方法,該方法具有工藝步驟簡單且容易實施的優(yōu)點。其次,本文重點研究了兩個FBAR樣品的溫度頻率特性,繪制了20℃至200℃的溫度頻率曲線并計算了其溫度頻
3、率系數(TCF),測量結果表明了FBAR的并聯諧振頻率與溫度之間呈良好的線性關系(非線性誤差分別為6.4％和4.2％),且兩者具有很好的非遲滯性和重復性,從而證明了FBAR溫度傳感器的可行性。隨后,通過在體硅刻蝕型FBAR背面密封空氣的方法制作了一種密封空氣型FBAR,并在20℃至100℃范圍內對其溫度頻率特性進行了測量,測量結果表明密封空氣提高了FBAR的TCF且沒有影響諧振頻率與溫度之間的線性關系。
有限元法是分析工程
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