自動物料搬送系統(tǒng)(AMHS)在晶圓制造中的應用及效率改善.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近幾年來半導體產業(yè)蓬勃發(fā)展，技術的飛速發(fā)展也對半導體晶圓代工廠提出的更高的要求，如何提高生產效率的問題就擺在了我們的眼前。自動物料搬送系統(tǒng)AMHS(Automatic Material Handling System)在半導體制造過程中將扮演非常重要的角色，當然AMHS應用不僅僅局限在半導體晶圓廠的應用，它適用很多領域，但范圍最廣的還是在半導體晶圓代工廠。之所以晶圓廠會大規(guī)模的采用AMHS，基本上是基于它可以快速準確的將Carrier搬

2、送到目的地，較少wafer的idle time，減少MO(miss operation)，提高生產效率。
　　本人所在的公司是一家半導體晶圓代工企業(yè)，采用AMHS系統(tǒng)為半導體晶圓代工輔助生產。本人主要負責AMHS系統(tǒng)的管理和維護，有多年的系統(tǒng)分析經驗。本文主要通過探討AMHS系統(tǒng)當前在半導體晶圓代工廠中的應用，特別是對無塵室的布局，AMHS的結構，性能指標和影響因素的研究分析，針對不同的問題點結合實際工作中遇到的情況，提出理論改善

3、并進行實際操作，統(tǒng)計對比前后的參數(shù)，達到提高改善的效果。
　　本論文的長遠意義在于，希望能協(xié)助AMHS系統(tǒng)的制造廠家以及AMHS系統(tǒng)的應用廠家在各自的生產過程中，能夠從中獲得一些啟示，優(yōu)化設計結構，在發(fā)生類似的問題的時候可以迅速的找到解決方向，而不必要走太多的彎路;或者可以根據(jù)論文的論述的影響因素，無論是從系統(tǒng)的設計階段，到生產階段，還是在客戶端的使用情況，都可以采取一定的預防措施，從而可以使AMHS系統(tǒng)能夠發(fā)揮更大的作用，提高整

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