石英晶片厚度檢測(cè)儀研究與設(shè)計(jì).pdf

1、隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)石英晶體產(chǎn)品的產(chǎn)量、質(zhì)量和性能提出了更高的要求,這就相應(yīng)的要求晶體生產(chǎn)行業(yè)加速生產(chǎn)設(shè)備與質(zhì)量檢測(cè)設(shè)備的研究與開(kāi)發(fā).本課題所研究的石英晶體厚度檢測(cè)儀就是為國(guó)內(nèi)晶體行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)而開(kāi)發(fā),它可以取代同類昂貴進(jìn)口設(shè)備而用于晶體生產(chǎn)企業(yè)晶片研磨厚度與成品厚度檢測(cè).在論文中,首先簡(jiǎn)要分析了我國(guó)晶體生產(chǎn)行業(yè)現(xiàn)狀,論述了研究開(kāi)發(fā)晶體厚度檢測(cè)儀的必要性,進(jìn)而分析了國(guó)內(nèi)外厚度檢測(cè)儀研究情況,在此基礎(chǔ)上詳細(xì)論述了本課題研究開(kāi)發(fā)的晶

2、體厚度檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)思想、工作原理、組成功能結(jié)構(gòu)及硬件模塊結(jié)構(gòu).然后根據(jù)組成結(jié)構(gòu)模塊對(duì)傳感器功能原理與選用、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)原理與結(jié)構(gòu)、數(shù)據(jù)處理思想與功能設(shè)計(jì)、數(shù)據(jù)顯示功能結(jié)構(gòu)等進(jìn)行了分別闡述與設(shè)計(jì).最后,簡(jiǎn)要論述了系統(tǒng)抗干擾設(shè)計(jì)與模塊化軟件設(shè)計(jì)思想.在研究中主要完成了以下幾方面研究設(shè)計(jì)工作:●選用靈敏度較高的LVDT差動(dòng)傳感器與其標(biāo)準(zhǔn)接口電路芯片AD2S93組成厚度信號(hào)采集調(diào)理系統(tǒng),完成厚度信號(hào)的轉(zhuǎn)換,模擬電壓信號(hào)到數(shù)字信號(hào)的12A/D采樣

3、以及單片機(jī)處理系統(tǒng)的數(shù)據(jù)輸入功能.●采用低功耗液晶顯示器與可編程多功能LCD顯示驅(qū)動(dòng)專用芯片HT1621構(gòu)成6位LCD顯示系統(tǒng),完成處理系統(tǒng)參數(shù)修改顯示與厚度測(cè)試結(jié)果顯示.●采用功能強(qiáng)大、性能穩(wěn)定可靠的AT89C52單片機(jī)作單片處理器與外圍接口芯片電路組成厚度檢測(cè)儀,完成參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)錄入與處理、結(jié)果輸出等功能.本課題設(shè)計(jì)的石英晶片厚度檢測(cè)儀具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、性能穩(wěn)定可靠、精確度高等特點(diǎn),可廣泛使用于超薄物件的精確測(cè)量,具有很好的