高頻大功率脈沖偏壓電源的設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、磁控濺射技術以其“高速”,“低溫”兩大特點被廣泛應用于在薄膜制備領域。而目前磁控濺射離子鍍中廣泛采用的直流偏壓電源已不能充分發(fā)揮磁控濺射的優(yōu)越性,制約了低溫磁控濺射的發(fā)展。因此高頻、大功率的脈沖偏壓電源已成為磁控濺射用偏壓電源的發(fā)展方向。本文采用了TI公司的高性能DSP-TMS320F2812,設計了一款用于磁控濺射離子鍍高頻、大功率的數(shù)字化脈沖偏壓電源。結合脈沖偏壓電源的指標要求,首先分析和研究了脈沖偏壓電源在高頻和大功率條件下的的實

2、現(xiàn)方案,并對高頻大功率的主電路和控制系統(tǒng)進行了理論設計和參數(shù)估算。為了提高電源系統(tǒng)的穩(wěn)定性及抗干擾能力,建立了電源系統(tǒng)的小信號模型,進而進行數(shù)字控制器的設計,得到了良好的PID參數(shù),獲得了良好的控制性能。并使用PSPICE及MATLAB對電源系統(tǒng)進行了詳細的仿真分析。在此基礎上,采用DSP技術對脈沖偏壓電源進行數(shù)字控制。選擇TI公司的DSP芯片TMS320F2812為控制核心,給出了各單元如驅(qū)動電路、采樣及信號調(diào)理的硬件設計。軟件設計則

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