生物芯片掃描儀運動工作臺控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、激光共聚焦生物芯片掃描儀是一種光、機、電一體化的高精密生物芯片檢測儀器。隨著生物芯片點樣技術的不斷進步，生物芯片上的點陣越來越密集，掃描分辨力的要求也越來越高，掃描工作臺作為提高掃描分辨力的核心部件，其定位精度也逐漸提高。本文針對激光共聚焦生物芯片掃描儀的掃描工作臺，對其交流伺服系統(tǒng)進行研究。 （1）根據掃描工作臺所要達到的性能指標和運動方式確定工作臺的機械結構，并對工作臺各組件進行設計選型。 （2）對工作臺的傳動機構的

2、轉動慣量進行計算，對交流伺服電機選型。分析和比較了電機在工作模式下的速度曲線，即梯型、S型和指數型加、減速的速度曲線，對電機在S型加、減速工作模式下的加、速時間進行計算。 （3）在分析和比較了PID控制、積分分離型PID控制、二自由度PID控制、Smith預估控制、內?？刂频瓤刂撇呗裕⒖紤]設計掃描工作臺控制系統(tǒng)的復雜性和可實現(xiàn)性，采用全閉環(huán)的三環(huán)控制方案，即電流環(huán)的PI控制、速度環(huán)的內?？刂啤⑽恢铆h(huán)PI控制的控制方案，建立各控