氦質譜檢漏儀的研制.pdf

1、現(xiàn)在生產技術的不斷進步，對檢漏方法及檢漏精度提出了越來越高的要求。氦質譜檢漏作為檢漏方式的一種，在保證產品質量方面起著越來越重要的作用。無論是傳統(tǒng)的空調制造業(yè)，還是新興的電子產品、航空航天領域，氦質譜檢漏儀都因其靈敏度高、性能穩(wěn)定、無污染等優(yōu)點得到了越來越多的重視和推廣應用。氦質譜檢漏儀是全自動氦檢漏設備上的核心部件，氦質譜檢漏儀的高性能和高可靠性將 直接影響氦檢設備的性能和可靠性，通過自行研制的氦質譜檢漏儀替換氦檢漏設備上一直使用的國

2、外的氦質譜檢漏儀，將大大降低氦檢漏設備的制造和維護成本，從而提高其在同行業(yè)中的競爭能力。
　　氦質譜檢漏儀主要分為質譜模件和電子模件兩部分。質譜模件完成氦氣流量信號到電流信號的轉變，其工作原理較復雜，對工作條件和制作工藝等都有很高的要求，以目前國內技術和制造水平很難制作出高性能的質譜模件；電子模件主要是對質譜模件輸出的電信號進行收集、分析和處理，最終轉換為與測試漏孔相對應的漏率值。本課題以德國INFICON公司生產的質譜模件為基礎

3、，開發(fā)和設計其電子模件，從而研制和組裝一臺具有高性能和高可靠性的氦質譜檢漏儀，為今后全面研發(fā)氦質譜檢漏儀奠定基礎。
　　論文的主要內容有：
　　1.分析氦檢漏技術在檢漏行業(yè)的現(xiàn)狀與發(fā)展，介紹氦質譜檢漏原理及氦質譜檢漏儀的發(fā)展趨勢；
　　2.根據(jù)氦質譜檢漏儀的主要功能，設計了本課題研制的氦質譜檢漏儀的總體方案及其電氣控制系統(tǒng)的方案；
　　3.在詳細闡述了電氣控制系統(tǒng)的原理和功能的基礎上，采用模塊化設計思想，設計實現(xiàn)