導航級硅微諧振式加速度計專用集成測控電路研究.pdf_第1頁
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1、fj分類號UDC門：1密級南室理二大學NANJINGUNlVERSlTYOFSCIENCE&TECHNOLOGY博士學位論文導航級硅微諧振式加速度計專用集成測控電路研究指導教師姓名學位類別學科名稱研究方向論文提交日期(題名和副題名)趙健(作者姓名)蘇巖教授迕壅墨!塾蕉工學博士機械電子工程MEMS傳感器集成電路201609注l：注明《國際十進分類法UDC的類號川4川2Ⅲ4川8Ⅲ73川3川丫PhDDissertationResearchon

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