基于零差干涉相位測量的間距測量與控制研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、激光干涉測距是指用激光束作為信息載體測量物體之間的絕對間距或相對位移，是目前進行精密間距測量的主流方法之一，被廣泛應用于基礎物理研究中的間距測量與控制。作者所在實驗室近期一直在進行近間距非牛頓引力實驗檢驗和Casimir效應研究，該類實驗需對兩物體間的間距進行精密測量和控制。本論文在充分調研各種激光測距方法的基礎之上，考慮到測量信號與間距之間的線性要求，同時為了降低環(huán)境對測量結果的干擾，選擇基于共光路的零差干涉儀，并利用正交測量法直接測

2、量干涉位相來進行間距測量。
　　本論文設計了分別通過間距調制和波長調制進行正交測量位相的方案。基于當前實驗條件，進行了間距調制方案的間距測量和控制實驗，完成了間距測量和控制的Labview程序編寫，實現(xiàn)了精度小于1nm的間距測量與鎖定，并對相關誤差進行了分析?？紤]間距調制方案中調制間距本身所帶來的誤差以及調制幅度的限制，設計了正交測量法中的波長調制方案。在波長調制方案設計中，對激光波長調制方法、激光波長中心值的穩(wěn)定要求和方法、激光

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