半導體工廠設備維護管理系統(tǒng)的設計與實現(xiàn).pdf

1、在半導體晶圓制造廠中，共有擴散，薄膜，光刻，刻蝕，濕刻，芯片電性測量這六類設備，這些設備的維護管理工作對于晶圓的制造至關重要。
　　B公司是國內(nèi)某半導體晶圓制造廠，在半導體設備維護管理過程中，存在著人工制定工作計劃效率低下，Excel版工作計劃無法實現(xiàn)自動預警，故障設備繼續(xù)使用將導致產(chǎn)品質(zhì)量下降，工程師每日進入廠房點檢設備浪費時間，設備是否需要維護只能通過人工判斷，設備維護過程和結果不可監(jiān)測幾大問題。
　　本文在分析以上問題

2、的基礎上，提出了基于時間的設備維護優(yōu)化方案和基于規(guī)則的設備維護優(yōu)化方案，設計并實現(xiàn)了一個設備監(jiān)控與維護管理系統(tǒng)，系統(tǒng)的功能包括：基于時間的設備維修工作計劃制定，基于規(guī)則的設備維修工作計劃制定，設備參數(shù)設置，維護工作通知，維護工作記錄，工作報告查看幾個功能模塊。測試及應用情況表明，該系統(tǒng)是可行及有效的。
　　與其他同類系統(tǒng)相比，本文的研究工作主要有以下特點：
　　1.針對設備維護所需參數(shù)的收集問題，通過SECS（半導體生產(chǎn)設備

3、通信標準）通信協(xié)議和RV中間件技術，實現(xiàn)了設備參數(shù)信息收集功能。應用情況表明，系統(tǒng)減少了工程師定期查看設備的工作量，顯著提高了工程師工作效率。
　　2.針對設備是否需要 PM（預防性維護）只能人工判斷問題，故障設備繼續(xù)使用導致的產(chǎn)品質(zhì)量下降問題，實現(xiàn)了基于規(guī)則的設備維護功能，使用計算機自動判斷取代人工判斷，應用情況表明，系統(tǒng)提高了工程師的工作效率。
　　3.針對人工使用Excel制定工作計劃效率低下問題，Excel版工作計劃