空間光調(diào)制法抑制相干成像系統(tǒng)中相干噪聲技術的研究.pdf

1、光干涉檢測技術是光學元件高精度加工檢測過程中的必要環(huán)節(jié)，對于光學元件質(zhì)量判定起到終檢決定性作用。商用干涉儀中大多數(shù)采用相干性好的激光作為光源以此獲得較大的相干長度。這種選擇大大降低了干涉檢測過程中的裝調(diào)難度。然而，不利因素是光學系統(tǒng)中的雜散光以及光學元件表面高頻誤差、瑕疵、灰塵等造成的散射光將造成像面中存在相干噪聲，使得干涉系統(tǒng)的信噪比下降。常用的解決方法是對入射光源的相干性進行調(diào)制，以降低其相干性，進而抑制相干噪聲和提高信噪比。本論文

2、中采用了能夠實時控制的動態(tài)光學元件，開展了干涉成像系統(tǒng)中空間光調(diào)制抑制相干噪聲技術的研究。
　　本論文從統(tǒng)計光學理論出發(fā)，對測試光路中光場傳輸及像面光場采集進行了數(shù)理分析研究。研究了光場經(jīng)過局部相位調(diào)制情況下其相干性的變化及其對于成像系統(tǒng)噪聲的影響。理論分析表明，當調(diào)制屏上圖案相位起伏標準差(σs)一定時，系統(tǒng)信噪比隨著調(diào)制頻率的增加先是增加然后在下降;當調(diào)制頻率不變時，系統(tǒng)信噪比隨著調(diào)制場相位起伏標準差的增大而增大。為驗證理論分