反應(yīng)磁控濺射法沉積CrN和TiAlN涂層及摩擦磨損特性研究.pdf_第1頁(yè)
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1、分類號(hào)：TQl74密級(jí)：公開單位代碼：10422學(xué)號(hào)：201312496J◆莨11SHANDONGUN【VER碩士學(xué)位論文ThesisforMasterDegree論文題目：反應(yīng)磁控濺射法沉積CrN和TiAIN涂層及摩擦磨損特性研究InvestigationsofTribologicaiPerformanceofCrNandTiAINCoatingDespositedbyReativeMagnetronSputtering作者姓名余正海

2、余量海培養(yǎng)單位材料科學(xué)與工程學(xué)院專業(yè)名稱指導(dǎo)教師合作導(dǎo)師材料學(xué)歐陽(yáng)俊教授喀天99嗾2016年5月21日7吾一原創(chuàng)性聲明本人鄭重申明：所呈交的論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果，除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個(gè)人或集體己經(jīng)發(fā)表或撰寫過(guò)的科研成果。對(duì)本論文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均己在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。論文作者簽名：會(huì)殳海日期：2016。s。之I關(guān)于學(xué)位

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