基于圖像處理的半導體表面圖像參數(shù)提取.pdf

1、位錯密度是評價晶體結晶質(zhì)量的重要指標之一，晶體表面形貌圖上顯示了晶面位錯的分布，統(tǒng)計位錯數(shù)量，進而能夠得到位錯密度。傳統(tǒng)的位錯中心的統(tǒng)計方法是選取圖像中某個位錯中心的灰度為基準，設置一個閾值，在此灰度范圍內(nèi)的聯(lián)通區(qū)域均算作位錯中心。但是這種方法根據(jù)選取的基準不同，閾值的大小不同，統(tǒng)計結果相差甚大，加上一些非位錯中心的區(qū)域的灰度值也落在統(tǒng)計范圍內(nèi)，得到的結果與實際偏差較大。為了得到準確結果，經(jīng)常需要人工計數(shù)，而原始的圖像由于背景顏色的干擾

2、，腐蝕區(qū)域分布混亂等原因，容易造成視覺疲勞，降低了人工統(tǒng)計的效率。鑒于這種現(xiàn)狀，本文從以下幾個方面對開展了研究工作：
　　首先將實驗室采集到的彩色圖像進行灰度化預處理，方便下一步操作。然后分別用Sobel算子、Canny算子以及Daubechies小波、Symlets、Haar小波等處理方法，對半導體材料磷化銦單晶片的位錯腐蝕坑形貌圖進行了邊緣檢測，得到初步的邊緣結果。
　　其次對分水嶺算法基礎理論進行了介紹，指出了算法存在