微波等離子體光源高效率射頻功率放大器研究.pdf

1、為適應(yīng)當(dāng)今能源短缺，倡導(dǎo)高效節(jié)能的現(xiàn)狀，人們對于綠色、節(jié)能、高效率的新型微波等離子體光源(LEP)的研究日趨活躍。本文課題在第一代微波等離子體光源研究基礎(chǔ)上，利用現(xiàn)在高速發(fā)展的微波固態(tài)電路替代真空器件作為驅(qū)動源，解決第一代微波等離子體光源諸多缺點，實現(xiàn)可用于工程應(yīng)用的新型微波光源。重點研究新型微波等離子體光源射頻模塊中功率放大器的設(shè)計，針對高效率、大功率的實現(xiàn)做大量研究分析，最終實現(xiàn)高效率的大功率功放設(shè)計。文章主要研究內(nèi)容分為四部分。<

2、br>　　文中首先通過介紹課題研究背景，對研究對象設(shè)計方法與功率器件的發(fā)展現(xiàn)狀做詳細(xì)介紹。其次，對功率放大器的基本類型、技術(shù)指標(biāo)、研究設(shè)計方法進行理論分析研究，文中詳細(xì)闡述功率放大器中負(fù)載牽引方法以及非線性方法，重點對如何實現(xiàn)高效率和 F類功率放大器進行理論分析。再次，分析微波等離子體光源設(shè)計目標(biāo)，以LDMOS功率管作為設(shè)計基礎(chǔ)，利用ADS仿真軟件對Freescale公司大功率功率管MRF6V4300N進行仿真研究，并制作、調(diào)試出實物實

3、現(xiàn)250W大功率、60％以上高效率的功率放大器。文章對設(shè)計過程做詳細(xì)分析并對調(diào)試中注意事項以及所遇問題的解決方法進行闡述。然后，文中針對如何提高效率做仿真研究，利用MRF6V4300管加入諧波控制設(shè)計，實現(xiàn)200W輸出功率、74%效率的F類功率放大器。最后，對論文過程中所存在的不足之處進行總結(jié)分析，并對不足之處提出改進意見。同時，針對微波等離子體光源射頻模塊的設(shè)計，給未完成的工作指出方向與可借鑒的方案。
　　本文研究方案可行性大，