空腔型L波段FBAR濾波器設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、空腔型FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator，F(xiàn)BAR)濾波器具有體積小、功耗低、高Q值、可集成、工作頻率高等優(yōu)點，是設計多功能雙工器的最常用方案，但其在軍、民應用都很廣泛的L波段的研究并不多。針對如何設計出滿足指標的空腔型L波段FBAR濾波器的問題，本文研究了復合結構FBAR縱波諧振頻率的計算、FBAR濾波器的指標設計、空腔型FBAR功率容量的改進措施、空腔型FBAR濾波器的工藝設計。
　　根據(jù)三層結

2、構FBAR縱波諧振頻率計算方法，采用頂電極、壓電層、底電極、支撐層的應力和位移邊界條件推導四層復合結構FBAR縱波諧振頻率計算公式;采用ADS建立FBAR的縱向振動Mason仿真模型，仿真驗證公式計算的頻率值。建立修正的FBAR仿真模型，分析影響FBAR濾波器性能的各種因素，采用提出的FBAR濾波器仿真設計流程，得到滿足指標的窄帶帶通FBAR濾波器;采用有限元仿真軟件ANSYS對影響空腔型FBAR功率容量的因素進行仿真分析，并提出改善其

3、功率容量的措施。
　　根據(jù)空腔型FBAR中空氣隙的功能和結構特征，提出有利于改進空腔型FBAR可制造性的貫穿其正面的犧牲層腐蝕工藝;采用MATLAB和Silvaco對室溫條件下犧牲層腐蝕的恒擴散系數(shù)(ConstantDiffusionCoefficient，CDC)模型進行仿真，根據(jù)仿真結果設計貫穿FBAR正面的犧牲層釋放窗口;采用有限元仿真軟件ANSYS對無釋放窗口和鏤空FBAR進行諧振仿真，并分析釋放窗口引起的FBAR諧振特性

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