雙旋轉(zhuǎn)補償器型穆勒矩陣橢偏儀同步控制系統(tǒng)設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、橢偏儀對于納米級樣件結(jié)構(gòu)測量有很廣泛的應用前景，雙旋轉(zhuǎn)補償器型全穆勒矩陣橢偏儀由于能夠快速測得穆勒矩陣中全部16個元素，在薄膜和納米結(jié)構(gòu)測量等領域都有很大的優(yōu)勢。雙旋轉(zhuǎn)補償器型穆勒矩陣橢偏儀從其測量原理上看，雙補償器的同步旋轉(zhuǎn)特性是其實現(xiàn)高精度偏振調(diào)制的關鍵，對于穆勒矩陣橢偏儀的測量準確度和測量重復性精度性能好壞有至關重要的作用。因此，本文從系統(tǒng)設計及誤差分析的角度對雙旋轉(zhuǎn)補償器型穆勒矩陣橢偏儀的同步控制系統(tǒng)進行研究，通過系統(tǒng)建模和仿真

2、分析補償器旋轉(zhuǎn)同步控制誤差對系統(tǒng)測量精度的影響，并且以此為基礎設計并實現(xiàn)了同步控制方案，主要研究工作包括以下幾個方面：
　　根據(jù)穆勒矩陣橢偏儀基本測量原理與系統(tǒng)模型建立了補償器旋轉(zhuǎn)同步控制誤差傳遞模型，通過仿真分析了同步控制系統(tǒng)中的誤差對測量結(jié)果的影響，從而為同步控制系統(tǒng)設計提供理論依據(jù)和數(shù)據(jù)支撐。
　　結(jié)合理論建模和仿真分析結(jié)果，進行穆勒矩陣橢偏儀同步控制系統(tǒng)需求分析，并從器件選型、同步控制方案的對比等幾個方面進行了系統(tǒng)設

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