基于CPLD的表面形貌測(cè)量控制系統(tǒng)研制.pdf_第1頁(yè)
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1、表面形貌測(cè)量控制系統(tǒng)是表面形貌測(cè)量?jī)x器的重要組成部分，負(fù)責(zé)儀器測(cè)量控制、數(shù)據(jù)采集以及數(shù)據(jù)分析。本文從工程實(shí)際出發(fā)，利用CPLD平臺(tái)對(duì)表面形貌測(cè)量控制系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)現(xiàn)，既解決了原有測(cè)量控制系統(tǒng)中的問(wèn)題，還滿足了測(cè)量控制系統(tǒng)的低成本、高性能、實(shí)時(shí)化設(shè)計(jì)要求。具體包括以下工作：
　　（1）對(duì)表面形貌測(cè)量控制系統(tǒng)功能進(jìn)行分析，并根據(jù)需求設(shè)計(jì)系統(tǒng)硬件，包括CPLD主控電路和電源電路2部分，最后對(duì)電路系統(tǒng)進(jìn)行抗干擾分析。
　?。?）先后進(jìn)行

2、了CPLD軟件設(shè)計(jì)部分、PCI驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)和測(cè)量軟件設(shè)計(jì)，并對(duì)CPLD軟件模塊、PCI驅(qū)動(dòng)程序進(jìn)行軟件仿真調(diào)試，初步驗(yàn)證測(cè)量控制系統(tǒng)的可靠性。
　?。?）對(duì)測(cè)量控制系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，進(jìn)行表面形貌測(cè)量實(shí)驗(yàn)和表面輪廓測(cè)量實(shí)驗(yàn)，并給出了測(cè)量結(jié)果，驗(yàn)證系統(tǒng)的可靠性。
　　本文利用CPLD平臺(tái)對(duì)表面形貌測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行集成化設(shè)計(jì)，既滿足了所有測(cè)量控制功能，還提高了系統(tǒng)穩(wěn)定性，降低了成本，同時(shí)通過(guò)對(duì)PCI驅(qū)動(dòng)和測(cè)量軟件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，改變了原有測(cè)量

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