精密拼接光柵多自由度控制系統研究.pdf

1、啁啾脈沖放大技術(Chirped Pulse Amplification—CPA)的快速發(fā)展和應用促進了高效率大口徑衍射光柵的需求，而大口徑的衍射光柵制備非常困難，面對這一困難，許多專家學者們開始研究其他的方式來獲取大口徑衍射光柵，其中采用拼接的方法最為有效，而且已經獲得了初步的研究成果。
　　分析了光柵拼接需要控制調整的自由度，在此基礎上，根據精密拼接光柵亞微米量級的高精度和長時間動態(tài)穩(wěn)定的控制要求，確定了拼接光柵的多自由度驅動

2、方式，選定壓電微位移驅動器作為系統的驅動，帶自修正因子的模糊控制作為系統閉環(huán)控制算法。建立了△形和L形兩種并聯驅動模型的數學模型，并定性和定量分析了兩種驅動模型下不同傳感器布置方式的誤差，得出△形驅動模型下傳感器外圓周△形陣列布置較優(yōu)，L形驅動模型下外環(huán)L外側L陣列布置較優(yōu)?；趯嶒灁祿O計了系統的帶自修正因子的模糊控制算法，建立了系統的傳遞函數模型，在Matlab環(huán)境下對系統作了模糊控制和帶自修正因子的模糊控制的階躍仿真，由仿真結果