光刻投影物鏡動鏡柔順定位機構模型修正及分析.pdf

1、光刻投影物鏡是光刻機的核心部件。為了保證投影光嚴苛的波像差要求，投影物鏡內部具有可調整的動鏡，以便實現(xiàn)對其位置姿態(tài)進行調整，以消除由于加工和裝調誤差帶來的波像差，從而保證曝光圖形的轉移精度。柔順定位機構是基于柔性鉸鏈彈性變形和壓電驅動技術的多自由度柔順微動精密定位機構，是光刻機動鏡的調整機構的主要部件。由于柔順定位機構中的柔性鉸鏈剛度低，對環(huán)境振動響應劇烈，為了保證物鏡穩(wěn)定動態(tài)成像質量，需要掌握其結構動力學特性。因此，本文進行了以下四方

2、面的分析研究：
　　(1)分析了柔順定位機構工作原理和結構特性，對其進行有限元仿真建模和模態(tài)試驗，對比分析建模誤差，基于諧波響應分析法確定修正的目標函數(shù)，修正變量和約束條件，使修正后的模型誤差在5％以內，達到分析精度要求。
　　(2)依據(jù)固定結合面剛度阻尼理論，推導了柔順定位機構螺栓連接面的剛度。將其作為初值進行參數(shù)修正得到了收斂解，該收斂解在理論解的10%內變動，表明剛度理論推導正確，修正方法有效。
　　(3)依據(jù)修