數(shù)控微磨床綜合空間誤差建模與分析.pdf

1、隨著機(jī)械制造技術(shù)的快速發(fā)展，微型制造技術(shù)的出現(xiàn)是機(jī)械領(lǐng)域的重大突破，微型制造技術(shù)區(qū)別于MEMS技術(shù)和超精密加工技術(shù)，是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)的微機(jī)械加工技術(shù)與傳統(tǒng)的精密加工技術(shù)之間的“中間部分”，是高效率、高精度加工微小零件的有效途徑，是能夠解決加工結(jié)構(gòu)復(fù)雜和材料多樣的微小型零件的重要技術(shù)。
　　 本文基于自行設(shè)計(jì)的數(shù)控微磨床，探討主要影響數(shù)控微磨床加工精度的誤差，而幾何誤差、載荷誤差和熱變形誤差是數(shù)控微磨床的典型誤差源。

2、>　　 運(yùn)用多體系統(tǒng)理論，針對(duì)數(shù)控微磨床的典型誤差源，描述數(shù)控微磨床的多體系統(tǒng)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)和低序體，并根據(jù)數(shù)控微磨床加工過程，結(jié)合磨床的結(jié)構(gòu)和機(jī)構(gòu)之間的聯(lián)系方式，分析得到各典型體之間的特征矩陣，建立數(shù)控微磨床的綜合空間誤差模型。確定數(shù)控微磨床的幾何誤差、熱變形誤差和載荷變形誤差等典型誤差的變化規(guī)律。
　　 運(yùn)用有限元方法、磨床振動(dòng)理論和熱態(tài)分析，對(duì)數(shù)控微磨床的關(guān)鍵部件電主軸和工件主軸進(jìn)行靜態(tài)、動(dòng)態(tài)及熱態(tài)分析，研究變形量的分布情況和