納米級分辨力重載電控二維傾斜調(diào)整架設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、伴隨光學加工技術的飛速發(fā)展，對光學元件的檢測要求越來越高，當使用干涉儀檢測光學鏡片時，對光學調(diào)整架也提出了越來越高的的要求。為排除人員現(xiàn)場調(diào)整產(chǎn)生的各種振動影響，對于大型干涉儀中標準器的二維高分辨力調(diào)整，即要求實現(xiàn)兩維傾斜調(diào)整（θx、θy），又要具有電控調(diào)整功能，實現(xiàn)角度亞秒級電控精確定位，同時保證其穩(wěn)定性，且調(diào)整架有鎖緊保持力矩，在負載上百公斤的情況下，穩(wěn)定后檢測時不能發(fā)生漂移，保證干涉儀對光學元件的超高精度測量。鑒于此，研制一種電動

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