基于機器視覺的晶圓定位系統(tǒng)研究.pdf

1、近年來,半導(dǎo)體行業(yè)制造工藝持續(xù)發(fā)展,微小芯片的市場需求也急速增長,芯片尺寸、引線間距和焊盤直徑不斷減小,因而對封裝設(shè)備的運動精度要求越來越高。傳統(tǒng)的封裝設(shè)備已無法滿足需要,視覺定位技術(shù)已逐漸成為保證電子封裝設(shè)備高精度運行的關(guān)鍵技術(shù)。本論文研制了一套基于機器視覺的晶圓定位系統(tǒng),實現(xiàn)芯片的實時定位與對位操作。全文主要包括以下幾個方面的內(nèi)容:
　　一、針對晶圓定位系統(tǒng)的要求,對視覺系統(tǒng)和運動控制系統(tǒng)分別進行具體的設(shè)計。
　　二、論

2、文對機器視覺技術(shù)中重要的相機標定技術(shù)進行了一定的研究,分析相機成像模型以及坐標轉(zhuǎn)換關(guān)系。針對畸變小的遠心鏡頭,應(yīng)用了一種線性模型,對視覺系統(tǒng)進行標定。
　　三、針對芯片特點,研究了定位算法。使用背景去除法進行圖像預(yù)處理,利用Canny算子進行邊緣檢測,提出利用邊緣像素個數(shù)分離各連通區(qū)域,同時提出基于霍夫變換和最小二乘法相結(jié)合的直線檢測算法進行直線檢測,并利用直線檢測結(jié)果計算圖像中的定位點。最后利用提取到的定位信息,計算出對位操作的