雙端梁MEMS熱電堆紅外探測器關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁
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1、分類號：TN215單位代碼：10110學(xué)號：b20130015中北大學(xué)博士學(xué)位論文雙端梁MEMS熱電堆紅外探測器關(guān)鍵技術(shù)研究博士研究生_____________MM___________指導(dǎo)教師____________熊繼軍教授學(xué)科專業(yè)測試計量技術(shù)及儀器2016年6月1日Ph.D.DissertationReseaerchontheKeyTechnologiesofDoubleendbeambasedMEMSThermopileIRDe

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