盤式動壓拋光理論及實驗研究.pdf

1、當今社會，隨著科學技術的飛速發(fā)展對光學元件的需求逐漸走向大型化和超精細化，計算機控制光學表面成型技術和非接觸式拋光技術得到了迅猛發(fā)展。為了保持動壓拋光精度高、質(zhì)量好的優(yōu)點并提高加工效率，本文提出了盤式動壓拋光的加工方式，把傳統(tǒng)的動壓拋光由點接觸、線接觸演變?yōu)槊娼佑|，并對該方法在基礎理論方面和工藝實驗方面進行了細致的研究。
　　首先，本文以流體動力學知識為基礎推導了在動壓拋光過程中各參數(shù)之間的關系，其參數(shù)包括壓強、承載力、流量、轉速

2、和液膜厚度，得到了液膜厚度控制方程。采用當下流行的CFD軟件對理論模型進行了數(shù)值分析，并與理論推導結果進行比對，印證了理論推導方程的正確性，為后續(xù)的實驗控制方式提供了指導。
　　其次，為了實現(xiàn)拋光過程的穩(wěn)定可控并降低機械設備的制造和裝配精度需求，本文利用 FLUEN T對液膜出現(xiàn)厚度不均勻的情況進行了分析，表明此時液膜會對工具提供偏載力矩用以矯正工具的位姿，據(jù)此可以得知實現(xiàn)工具的自修正在理論上是可行的。為了在機械結構上保證工具的自