OTFT器件及氣敏性能研究.pdf

1、有機薄膜晶體管（OTFT），又稱為有機薄膜場效應管。因其具有低功耗、質量輕、體積小等優(yōu)點自問世以來就受到研究人員的普遍關注。目前，OTFT被廣泛地應用于傳感器、存儲卡和有源驅動平板顯示等領域。本文以重摻雜的n型硅為襯底、SiO2為絕緣層，分別以六噻吩（α-6T）和聚3-己基噻吩(P3HT)復合薄膜作為有源層制作了底柵極底接觸結構的有機薄膜晶體管器件。在此基礎上把器件應用于氣體傳感器，并測試了其對幾種氣體的響應特性，具體工作包含以下幾個方

2、面：
　　1.采用真空蒸發(fā)法制備了六噻吩（α-6T）薄膜，研究了α-6T有機薄膜晶體管的電學性質。將制備好的六噻吩有機薄膜晶體管暴露在不同的氣體中，研究了器件對各種氣體的響應特性。結果表明α-6T-TFT傳感器對NO2、NH3這兩種氣體表現(xiàn)出良好的響應特性。兩種氣體引起器件的漏源電流（IDS）變化相反。α-6T-TFT傳感器對甲醇、乙醇、仲丁醇這三種有機揮發(fā)性蒸汽的也具有一定的敏感性。
　　2.采用旋涂法分別制備了P3HT薄

3、膜和P3HT/單壁碳納米管（Single-walled Carbon Nanotubes，SWCNTs）復合薄膜。分別采用這兩種材料為有源層制備了OTFT器件。比較這兩種有源層器件的電學性質，結果表明，P3HT/SWCNTs薄膜晶體管的遷移率要高于P3HT-TFT。
　　3.比較了P3HT/SWCNTs薄膜晶體管和P3HT-TFT對不同氣體的響應。結果表明P3HT/SWCNTs薄膜晶體管對H2S氣體表現(xiàn)出良好的響應特性。而P3HT