激光位移傳感器及輸出特性的研究.pdf

1、基于三角法的激光位移傳感器的應用領域極為廣泛，在質量檢驗、設備維護、流程和設備監(jiān)控、機械和生產自動化以及研發(fā)等各個領域中，位移傳感器都為優(yōu)化產品和流程起到了決定性作用。但是目前國內市場仍然沒有比較成熟的三角法激光位移傳感器產品問世，市場都被國外產品占據，而國外產品的價格非常昂貴，因此找出激光位移傳感器在輸出特性上與國外產品的差距，提出改進方案是一項很有應用價值的工作。
　　 本論文以三角測量法為測量原理，采用半導體激光器作為光源

2、，搭建了基于四象限探測器和基于線陣CCD探測器的兩套測量系統(tǒng)，對測量系統(tǒng)中各個部件的選取做了詳細分析，并從理論和實驗上分析了引起系統(tǒng)測量誤差的各種因素以及消除或者減弱這些影響因素的方法。本文的主要工作如下：
　　 1.設計了基于四象限的激光位移傳感器，并對該傳感器進行了調試和標定。達到了預期的線性范圍。適用于小量程、高精度的測量。
　　 2.設計了基于線陣CCD的激光位移傳感器，并對該傳感器進行了調試、標定、測試。適用于