計量用高精度全息柱面位相光柵制作技術研究.pdf

1、柱面光柵作為一種計量光柵廣泛應用于接觸式表面輪廓測量儀中。隨著超精密機械加工向亞微米、納米級精度發(fā)展，對接觸式表面輪廓測量儀提出了大量程和高分辨率要求。而全息柱面位相光柵作為該測量儀的標準器，決定著儀器的分辨率，柱面光柵的質量技術參數(shù)及其精度對接觸式表面輪廓測量儀的測量準確性及測量精度有著直接影響。
　　本文結合柱面光柵的應用及光柵的相關衍射理論對柱面光柵全息制作過程中產生的誤差及柱面光柵參數(shù)誤差對測量精度的影響展開了研究和分析。

2、其主要研究內容和取得的研究成果如下：
　　(1)分析了柱面光柵在表面形貌測量過程中的工作原理，建立了測量系統(tǒng)輸出信號與表征光柵質量的技術參數(shù)之間的對應關系。
　　(2)根據光柵的標量衍射理論和嚴格耦合波理論分別對光柵的主要參數(shù)誤差如周期誤差、占空比誤差、槽深誤差、面型誤差進行了分析，明確了柱面光柵的主要誤差源（周期誤差、占空比誤差）及相應的工藝容差范圍，為高精度柱面光柵的工藝制作提供了依據。
　　(3)建立了柱面光柵的