磁懸浮硬盤微型位移傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文從以下幾個(gè)方面來對(duì)磁懸浮硬盤的微型傳感器進(jìn)行研究本文介紹了磁懸浮硬盤以及微型位移傳感器的國內(nèi)外研究和發(fā)展的現(xiàn)狀,闡述了磁懸浮硬盤的工作原理和MEMS的基本概念和方法,在磁懸浮硬盤研究的基礎(chǔ)上,給出一種基于耦合激磁的磁懸浮硬盤結(jié)構(gòu).在耦合激磁的磁懸浮硬盤的基礎(chǔ)上,為了能找出適合于這個(gè)系統(tǒng)的傳感器,給出了幾種運(yùn)用了不同物理原理如電磁(流量密度/電感/渦流)、光學(xué)(強(qiáng)度/影像/干涉/反射)和靜電(電容)等的非接觸式位移傳感器,并分析了它們

2、各自的優(yōu)缺點(diǎn).最后確定了適合于該結(jié)構(gòu)的位移傳感器——電感式位移傳感器和光反射式位移傳感器,并系統(tǒng)介紹了它們的工作原理.其中電感式位移傳感器主要式變氣隙式的差動(dòng)電感位移傳感器.文章中重點(diǎn)給出微型電渦流傳感器的設(shè)計(jì),闡述了從探頭部分的微線圈(馬鞍型微線圈和螺旋管型微線圈等)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化以及后續(xù)電路的設(shè)計(jì)方案.以前我們研究的磁磁懸浮硬盤的位移傳感器被安裝在轉(zhuǎn)子的外面來測位移,這樣硬盤的體積很大;本文提出了一種大大減小硬盤的體積的傳感器的安裝方

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