高性能單晶硅爐加熱電源的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、單晶硅爐加熱電源是一種大功率的整流電源,其輸出的能量直接為單晶硅爐內的石墨加熱器供熱,為單晶硅的生產提供熱場;而熱場的穩(wěn)定性是影響單晶硅品質的一個關鍵因素,因此為了提高單晶硅的品質就必須提高加熱電源的性能及穩(wěn)定性。
　　 本文首先對單晶硅爐加熱電源的發(fā)展現狀及前景作了分析,并闡述了全數字化控制的高頻單晶硅爐加熱電源的基本特征;然后將高頻開關型單晶硅爐加熱電源與傳統(tǒng)的可控硅電源的性能進行對比,并針對目前單晶硅行業(yè)普遍采用的可控硅加

2、熱電源所存在的效率低、功率因數低、輸出電壓紋波大、穩(wěn)定性較差等問題,將FB-ZVS-PWM移相全橋軟開關變換器技術引入到單晶硅爐加熱電源的設計中,從而提高電源的整體電氣性能,提高電能轉換效率和功率因數,降低對電網的污染。
　　 本文詳細闡述了FB-ZVS-PWM變換器的工作原理、ZVS條件以及設計方法,分析了主電路的設計方法以及關鍵器件的選型,并對超微晶高頻變壓器以及電源的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)等進行了創(chuàng)新性設計,此外還對FB-ZVS-

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