碳化硅外延石墨烯以及分子動力學模擬研究.pdf

1、石墨烯是一種碳原子緊密堆積的蜂窩狀二維晶格結構,這種最簡單的復雜材料在04年制備出來以后因其表現(xiàn)出的各種優(yōu)異的物理、化學、電學等特性以及由此有望產(chǎn)生的廣泛的應用空間,讓許多科研者投身到對它的研究之中。文中介紹了如今制備石墨烯的主流方法,著重介紹利用碳化硅外延石墨烯的發(fā)展以及優(yōu)勢,這種不用轉移襯底制備石墨烯的方法為后續(xù)微納電子的發(fā)展提供了保證。從目前發(fā)展來看,制備大面積高質量石墨烯是后續(xù)對其深入研究的基礎。
　　 本文利用已有的實

2、驗條件,成功利用碳化硅在超高真空條件退火后制備出石墨烯,并利用AFM、拉曼頻譜等工具實現(xiàn)了對石墨烯大小的估算測量與表征,通過對于工藝條件的改進實現(xiàn)了微米級別石墨烯生長,雖然這樣大小的面積還是無法滿足后續(xù)研究,但是相信隨著對于生長機理、工藝條件比如生長的氣氛、壓力、溫度、退火時間的研究與石墨烯表征手段的探索,很快能實現(xiàn)制備并表征大面積高質量的石墨烯,為后續(xù)進一步研究石墨烯相關性質和實際應用打下良好的基礎。
　　 本文還研究了利用分