激光調阻機光學系統掃描畸變及安裝誤差研究.pdf

1、激光調阻機是激光刻蝕技術在電子加工工業(yè)中的一種應用，是集光學、精密機械、計算機控制和精密測量技術于一體的高技術的加工設備，主要用于厚薄膜電阻的微調加工。 本文介紹了透鏡前雙振鏡二維掃描方式的激光調阻系統，闡述了激光微調的工作原理及特點；建立了激光調阻機雙振鏡二維掃描系統的數學模型，推導出掃描場內任意點的坐標與振鏡偏轉角之間的函數關系式，并分析了用簡化關系式代替推導所得的函數關系式控制振鏡掃描時所產生的畸變，最后提出了用理論關系式

2、的等效關系式來控制振鏡掃描，用等效關系式控制振鏡掃描時不僅可以得到高精度，達到了微米量級，而且用等效關系式對振鏡進行控制時，還能夠實現激光調阻機的高速度要求，從而達到校正的目的。 此外，本文通過建立數學模型分析了激光調阻機光學系統的裝配誤差，主要包括入射光線與光學系統光軸傾斜和第二振鏡與fθ透鏡非正交，并提出了利用兩振鏡繞轉軸偏轉一定的角度補償上述安裝誤差的補償方法，這對與激光調阻機今后的性能提高工作具有非常高的應用價值。