二氧化釩薄膜的相變性能研究.pdf

1、VO2薄膜是一種功能材料，由于其獨(dú)特的性質(zhì)，在很多領(lǐng)域內(nèi)具有潛在的應(yīng)用價(jià)值。近年來(lái)VO2研究有了飛速的發(fā)展，尤其是VO2薄膜制備技術(shù)得到了進(jìn)一步的發(fā)展，一些新的制備技術(shù)如有機(jī)溶膠—凝膠法、脈沖激光沉淀技術(shù)、MOCVD法都制備出了高性能的VO2薄膜。但是這些制備技術(shù)都具有一些缺點(diǎn)，例如它們使用市場(chǎng)上不易購(gòu)買、價(jià)格昂貴的金屬釩、純的V2O5和釩的醇鹽作為原料，而后者甚至十分不穩(wěn)定，迄今為止，還不見(jiàn)有研究者使用工業(yè)V2O5作為原料，研究制備性

2、能優(yōu)良的VO2薄膜。在工業(yè)V2O5大量存在，價(jià)格便宜的情況下，例如攀鋼年產(chǎn)工業(yè)V2O56000噸，居國(guó)內(nèi)第一位，且其用途局限于鋼鐵工業(yè)(約占85％)和化學(xué)工業(yè)(約占15％)，因此探討用攀鋼工業(yè)V2O5產(chǎn)品制備用途廣泛的VO2薄膜材料，并研究其性能，就顯得非常迫切和必要。 本論文采用無(wú)機(jī)溶膠—凝膠法制備VO2薄膜，并對(duì)以下方面進(jìn)行了研究。 (1)制備較優(yōu)VO2薄膜的工藝參數(shù)范圍。 (2)本論文使用三組正交實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)制

3、備了幾組薄膜，并研究了制備VO2薄膜過(guò)程中真空熱處理或H2還原過(guò)程中，熱處理溫度、熱處理時(shí)間、薄膜厚度對(duì)薄膜電阻突變數(shù)量級(jí)的影響。 (3)用幾種分析手段(掃描電鏡、TG和DSC分析、XRD分析)分別對(duì)V2O5薄膜、V2O5凝膠以及VO2薄膜進(jìn)行了研究。 (4)論文還對(duì)無(wú)機(jī)溶膠—凝膠法和其它幾種較常使用的制備技術(shù)進(jìn)行了較為全面的比較。 通過(guò)研究，制備出了相變性能較優(yōu)的VO2薄膜，其相變溫度約為35℃，比純VO2薄膜