模糊控制在半導(dǎo)體廠潔凈室溫濕度控制中的應(yīng)用.pdf

1、近幾年來隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,潔凈廠房也已成為世界各國頗為重視的一項技術(shù)。針對半導(dǎo)體集成電路行業(yè)而言，潔凈室最重要之作用之一在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的潔凈度、溫濕度以及室內(nèi)壓力，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。而以上這些指標(biāo)的控制應(yīng)由潔凈室空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)和空氣濾網(wǎng)系統(tǒng)等各個子系統(tǒng)來協(xié)同完成。整個潔凈室環(huán)境的控制的重點是溫濕度控制，而其他的如潔凈度、照度及靜電控制等等，都是相對穩(wěn)定的值，基本上在潔凈室建設(shè)完成后這些量也就

2、固定下來，只需要定期的維護而不需要實時的監(jiān)控，而對于溫濕度監(jiān)控，這是需要24 小時持續(xù)監(jiān)控的系統(tǒng)，是整個潔凈室控制的重點。
　　 本項目的目的是對原有的潔凈溫濕度控制系統(tǒng)上進行改善，以求提高溫濕度控制的精度，縮小其波動范圍，間接提高產(chǎn)品的良率。
　　 所有的溫濕度控制都必須符合溫濕度基本理論，包括溫度和濕度處理流程、溫濕度之間偶合關(guān)系及如何在時間應(yīng)用中對這兩者之間的偶合關(guān)系進行解偶合，這為后續(xù)的控制方案提供了理論上依據(jù)。

3、
　　 本文對潔凈室的基本概念及溫濕度基本原理進行了介紹，然后從潔凈室的基本需求分析開始，對整個潔凈室溫濕度控制系統(tǒng)進行系統(tǒng)化的分解，包括：新風(fēng)空調(diào)機、干冷盤管及整體的控制，從局部及整體上對系統(tǒng)控制的改進進行分析。
　　 在控制方案上，重點以新風(fēng)空調(diào)機組及干冷盤管為研究對象，著重探討潔凈空調(diào)溫濕度的控制方案。結(jié)合焓濕圖分析了空氣處理過程，應(yīng)用溫濕度解耦方法，介紹了基于PID 控制的溫濕度控制策略?？紤]精確度和節(jié)能效果，通

4、過在控制環(huán)中增加分程控制器，對冷熱水及加濕與去濕進行控制避免能源的浪費及控制的持續(xù)波動。針對常規(guī)PID 控制在實際使用中所體現(xiàn)出的不足，通過在PID 控制環(huán)中增加模糊控制器對PID 參數(shù)進行調(diào)節(jié)，提高系統(tǒng)對不同工況下的適應(yīng)能力，提高了系統(tǒng)控制精度的穩(wěn)定性，最終實現(xiàn)對降低溫濕度波動范圍的目的。
　　 本文也介紹了經(jīng)過業(yè)界長期應(yīng)用的SLC500 系列1746-553 PLC 為基礎(chǔ)的冗余控制系統(tǒng)，以及以兼容性著稱的Wonderwar