基于點采集的高精度掃描儀的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文提出采用非接觸式三角法位移測量原理設計基于點采集的高精度三維掃描儀,包括掃描儀的機構(gòu)改裝設計、逐點掃描機構(gòu)控制設計、激光傳感器的數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)設計和測量軟件的程序設計.針對激光傳感器裝夾產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差,對掃描儀進行了垂直標定;對激光傳感器的角度和方向性誤差進行了分析,在分析的基礎上設計了誤差補償程序,對測量結(jié)果進行誤差補償,提高了測量數(shù)據(jù)的精度.在z方向的分辨率達到1μm,x和y方向的分辨率為5μm,測量范圍為25mm×25mm×

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