基于AFM調制脈沖電壓下納米加工研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　納米技術發(fā)展的最終的目的是加工出特定功能的納米器件。加工納米量級結構是整個納米技術的基礎，已成為當前世界科學研究急需解決的問題?！　”疚膶Υ髿鉅顟B(tài)下基于AFM的電場加工進行了系統(tǒng)的研究和分析，以期探索一種加工出更加穩(wěn)定、具有更快的加工速度、良好性能的氧化結構的納米加工方法。文章分析了樣品-探針間的高密度電流如何受偏置電壓和探針-樣品間距的影響；研究了探針與樣品間的電場分布特點并對其進行Matlab模擬；論述了AFM的氧化加工的動力

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