雙級旋片真空泵內部流場分析及抽氣效率分析研究.pdf

1、旋片泵是最基本的真空獲得設備，對旋片泵的研究具有重要意義。抽氣效率是旋片泵重要的性能指標之一，提高抽氣效率可以大幅度縮短抽氣時間，有利于生產(chǎn)成本的降低。與國外同類產(chǎn)品相比，在抽氣性能上國產(chǎn)泵與國外泵還有很大差距。要提高國產(chǎn)泵的性能，縮小與國外泵的差距，提高國產(chǎn)泵的抽氣效率勢在必行。
　　本文以VRD-16雙級旋片泵的抽氣效率及內部流場分析作為主要研究方向，對雙級旋片泵的理論抽速進行計算，利用三維繪圖軟件Pro/ENGINEER和計

2、算流體力學通用軟件Fluent，使用動網(wǎng)格技術，對VRD-16雙級旋片泵的高真空級泵腔、高低真空級之間通道、入口通道內的流場進行數(shù)值模擬，并與VRD-16雙級旋片泵的理論抽速進行比較，證明Fluent仿真模擬雙級旋片泵是可行的，為下面針對雙級旋片泵內部流場模擬和分析工作打下了基礎。
　　在對高低真空級之間通道內氣體的流動過程進行數(shù)值模擬和分析后，發(fā)現(xiàn)通道內存在一段截面面積變化區(qū)域，在這段區(qū)域內氣體的流速和壓力值變化很大，改變通道此

3、處的結構，發(fā)現(xiàn)通道截面積變化區(qū)域的結構參數(shù)對VRD-16雙級旋片泵的抽氣效率影響很大;當截面積過小時，會阻礙氣體排出，明顯降低了旋片泵的抽氣效率。
　　基于對雙級旋片泵內部流動特性的研究和分析，發(fā)現(xiàn)原模型吸氣腔在未達到最大吸氣體積時已經(jīng)提前結束吸氣;改變原模型泵腔入口處結構，對比分析改變結構前后泵內部流場分布情況，發(fā)現(xiàn)泵腔入口結構參數(shù)對泵內部氣體流動特性和泵的抽氣性能的影響。
　　對比高真空級內轉子與定子切點處的不同間隙值和