基于PSD的光電位移測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、位置敏感探測(cè)器(Position Sensitive Detector)作為一種成熟光電器件用于檢測(cè)光斑位置，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)測(cè)量，具有分辨力高、頻譜響應(yīng)范圍寬、響應(yīng)速度快、可靠性高，可同時(shí)測(cè)量光強(qiáng)及光斑的重心位置等諸多優(yōu)點(diǎn)，在國防、信息、工業(yè)等領(lǐng)域都有很強(qiáng)的應(yīng)用前景。本文根據(jù)光學(xué)三角法原理使用PSD設(shè)計(jì)了一種光電位移測(cè)量系統(tǒng)。
　　本文首先分析了兩種光學(xué)三角法探測(cè)結(jié)構(gòu)，結(jié)合位置敏感探測(cè)器最終制定了位移測(cè)量方案，接著確定了該測(cè)量方案的

2、重要參數(shù)并進(jìn)行了模擬仿真，結(jié)果表明該方案具有可行性。
　　其次，介紹了位置敏感探測(cè)器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及其工作原理，并根據(jù)設(shè)計(jì)指標(biāo)選擇日本濱松公司的S3932型PSD作為位置檢測(cè)元件，同時(shí)分析了影響PSD位置定位的因素。
　　然后，基于AD645、AD734等模擬IC分別完成了交、直流PSD信號(hào)處理電路的設(shè)計(jì)，根據(jù)噪聲對(duì)PSD位置檢測(cè)分辨力的影響對(duì)測(cè)量電路(主要指前置放大電路)以及PSD本身的噪聲進(jìn)行了詳細(xì)的分析和仿真，同時(shí)完成了光

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