風洞試驗用高靈敏度加速度傳感器系統(tǒng)的研究.pdf

1、風洞試驗在生產研制中尤其是在氣動力研究和飛行器啟動設計占有主導作用，而加速度參數(shù)對于風洞試驗數(shù)據(jù)的精確性至關重要。叉指電極電容式傳感器制造工藝簡單、系統(tǒng)穩(wěn)定性良好，適合風洞環(huán)境的加速度檢測。本論文設計的加速度傳感器采用變極距、差動式的敏感結構，其靈敏度與線性度較好，易于信號檢測電路集成。本文對傳感器表頭部分進行了機械模型的建立與計算分析，對電學模型進行了仿真分析。
　　 本文介紹幾種實用的微電容測量電路，分析了各個電路優(yōu)缺點并且

2、對其中一些電路進行了改進?；诮涣骷铍娐返脑?，本傳感器檢測電路采用調制解調方法，并且檢測系統(tǒng)還采用閉環(huán)結構。我們在對信號檢測部分框圖進行設計的基礎上，對各部分電路模塊進行了設計，并在后期電路仿真時進行了優(yōu)化，優(yōu)化了電路性能。
　　 本文還對制作完成的加速度傳感器進行了性能檢測，可得加速度傳感器靈敏度為500mv/g，分辨率為0.01mg，線性度<0.2％，滿足風洞檢測系統(tǒng)需要。在此基礎上，本文構建了風洞監(jiān)測系統(tǒng)對加速度信號進