版圖轉(zhuǎn)換算法與靈敏度新模型研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、集成電路的成品率優(yōu)化一直是半導體業(yè)界關(guān)心的問題,尤其是目前硅集成電路進入特征尺寸為納米的工藝階段,以成品率為核心的可制造性設(shè)計成為其中的研究熱點,而版圖設(shè)計階段的成品率性能更是優(yōu)化電路設(shè)計和制造工藝研究的重要課題。
　　版圖的圖像格式不僅是隨機缺陷熱點檢測的基礎(chǔ),而且也更有利于精確計算版圖的關(guān)鍵面積和后續(xù)版圖的優(yōu)化,更重要的是為集成電路成品率的提高奠定了基礎(chǔ)。
　　本文以提高集成電路成品率和版圖優(yōu)化效率為目標,結(jié)合圖像處理技

2、術(shù)提出一種將版圖格式的文件轉(zhuǎn)換為圖像格式文件的算法。該算法以CIF命令和BMP命令為基礎(chǔ),不僅能實現(xiàn) CIF文件的圖元轉(zhuǎn)換為 BMP圖像,而且能完成整個 CIF版圖的轉(zhuǎn)換。
　　此外,考慮到隨機缺陷分布的版圖設(shè)計是減少成品率損失的有效途徑,文中進一步研究了版圖的布線優(yōu)化問題。為了減少由冗余物和丟失物缺陷所引起的成品率損失,需要提取版圖優(yōu)化線網(wǎng)的位置信息。本文提出了一種新的短路開路靈敏度(NSOS)模型,并基于隨機形狀缺陷和隨機形狀

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