GJ-4型共焦測頭的結構設計與研究.pdf

1、本文中所介紹的GJ-4型共焦測頭是光學非接觸測頭的一種，其測量原理為激光掃描共焦顯微檢測法原理，運用了動態(tài)主動調焦的方法，通過使用時間差法處理信號將位移量的測量轉化為對時間差的測量。
　　 與前幾代共焦測頭相比，GJ-4型測頭增加了一級匯聚光路，利用非球面物鏡，將測量光斑大幅減小，使之能夠更好的完成對微小物體的測量；GJ-4型測頭的光電接收器件使用高響應度的雪崩光電二極管，能夠對一些弱反射表面獲取到較好的測量信號；GJ-4型測頭

2、的結構結實穩(wěn)定，并設計有多處調節(jié)機構，使其能夠滿足光路原理的要求；另外，GJ-4的測量范圍和可測角度比前代測頭均有所擴大。
　　 本論文完成了GJ-4型共焦測頭的設計和調試，將其向產品化方向推進，主要的工作內容如下：
　　 1.簡要介紹了動態(tài)主動調焦測量原理和時間差法測量原理；
　　 2.對光路進行了理論推導并根據推導結果改進了測頭光路；
　　 3.設計了新的測頭結構方案，根據測頭新方案，對機械結構進行了