硅基集成納機(jī)電探針技術(shù)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、面向下一代超高密度信息存儲(chǔ)技術(shù),該論文致力于研究一種新型的一維納機(jī)電探針器件,該器件采用微電阻加熱寫(xiě)入和壓阻敏感讀取技術(shù),并利用先進(jìn)的微納機(jī)械加工工藝將微電阻加熱器與壓阻敏感器集成于同一微型超薄懸臂梁上.它既不同于使用兩個(gè)相互獨(dú)立的懸臂梁結(jié)構(gòu)探針?lè)謩e進(jìn)行數(shù)據(jù)的讀和寫(xiě),也不同于用同一電熱針尖進(jìn)行數(shù)據(jù)的讀和寫(xiě).在研究了等截面懸臂梁結(jié)構(gòu)納機(jī)電探針之后,該文還研究了在懸臂梁自由端集成了加熱電阻的V型和U型懸臂梁結(jié)構(gòu)納機(jī)電探針.理論上,建立了一套

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