基于新型圖形發(fā)生器的數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換軟件的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換軟件是電子束曝光機(jī)不可缺少的輔助工具.該課題的主要任務(wù)是研制與新型圖形發(fā)生器相匹配的數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換軟件.該軟件在陳建輝編制的OurCutterV1.0的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步擴(kuò)展了從cif格式向新型圖形發(fā)生器所特有的DY51數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換的功能.該論文在嚴(yán)格定義了DY51的基礎(chǔ)的上,主要分為兩個(gè)部分介紹該課題的研究成果.第一部分分析了OurCutterV1.0在圓弧逼近、多邊形自交校驗(yàn)、尺寸修正、自分割以及束斑分割等功能模塊中存在的問(wèn)題

2、,并在此基礎(chǔ)上提出了相應(yīng)的解決方案和算法.進(jìn)一步完善了各功能模塊,使升級(jí)版OurCutterV2.0更具有實(shí)用性.這一部分主要包括第二章和第三章.該論文在第二部分介紹了一種為專門二次曲線圖形服務(wù)的新的單元圖形——二次曲線單元圖形,并以此為基礎(chǔ)定義了一種兼容二次曲線的中間圖形(Intermediate Shape)及其相對(duì)應(yīng)的文本數(shù)據(jù)格式MGDF.針對(duì)這種帶有二次曲線的中間圖形,該文對(duì)二維多邊形的集合運(yùn)算進(jìn)行了重新定義,并在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)出

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