光化學(xué)用于精細(xì)加工的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、光化學(xué)加工是一種精密的表面加工技術(shù),在許多精細(xì)加工過(guò)程中獲得應(yīng)用.該文對(duì)光化學(xué)刻蝕技術(shù)在特種材料(碳化鎢硬質(zhì)合金)精細(xì)加工方面的應(yīng)用,進(jìn)行了深入研究.議事研究了感光樹脂的光化學(xué)反應(yīng)因素,運(yùn)用高分子改性的方法,研制出綜合性能優(yōu)異的環(huán)氧-聚丙烯酸酯型光致抗蝕劑,解決了普通的光致抗蝕劑不能用于碳化鎢硬質(zhì)合金進(jìn)行光化學(xué)精細(xì)加工的難題.經(jīng)實(shí)驗(yàn)摸索,發(fā)現(xiàn)了一種新型高效的促進(jìn)劑CJ-2,它的加入能明顯地加快腐蝕速度、提高腐蝕效果,以此為基礎(chǔ),研制出適

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