紅外探測器光學系統(tǒng)濾光膜的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、為了提高紅外探測器的靈敏度，本文針對紅外探測器元件濾光膜的技術要求，采用Si和YbF3的膜料組合，依據(jù)薄膜理論，設計干涉截止濾光膜，滿足了三個波段對光學性能的要求，并且在實際的制備過程中，優(yōu)化了真空室內(nèi)的真空度、烘烤溫度和基底溫度、Si和YbF3的蒸發(fā)速率、以及離子輔助沉積等工藝參數(shù)。通過多次實驗研究，對設備的本身誤差進行分析修正，提高了蒸鍍Si和YbF3時的膜厚晶控控制精度，在藍寶石基底上成功鍍制了1064nm透射率為91.5％、12

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