鋯鈦合金表面熱氧化膜的顯微組織和摩擦學性能.pdf

1、本文著眼于改善鋯鈦合金摩擦磨損性能，通過空氣中熱氧化及隨后真空擴散處理在其表面制備了一層氧化物薄膜。利用掃描電子顯微鏡（SEM）、X射線衍射分析儀（XRD）、X射線光電子能譜分析儀（XPS）及透射電子顯微鏡（TEM）對空氣中熱氧化及熱氧化隨后真空擴散處理氧化膜的顯微組織結構和成分進行了分析，闡明了真空擴散處理對熱氧化膜成分和組織結構的影響。利用納米硬度儀及銷盤式摩擦磨損試驗機對熱氧化膜的硬度及摩擦磨損性能進行測試，分析了熱氧化膜對硬度和

2、摩擦磨損行為的影響。
　　研究結果表明，空氣中熱氧化處理會在鋯鈦合金表面生成一層氧化膜，其厚度隨著氧化時間和溫度的升高而逐漸增加，達到一定值后其變化不顯著。600℃以上熱氧化會使氧化膜開裂甚至剝落?？諝庵袩嵫趸傻难趸ぶ饕煞蔷B(tài)Ti2ZrO6組成，隨著氧化時間和溫度的升高而逐漸發(fā)生晶化。真空擴散處理后在氧化物與基體間生成 O擴散層。此時熱氧化膜由氧化層和擴散層組成，熱氧化膜總厚度增加。真空擴散處理會促使非晶態(tài)氧化物發(fā)生晶化。