化學(xué)氣相熱解合成碳納米管陣列薄膜.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研究了兩種工藝制度合成碳納米管陣列薄膜的過程，第一種方式是通過分布在多晶Al2O3和石英襯底上的金屬鐵鹽，高溫催化裂解C2H4制備碳管薄膜；另一種方式是以二茂鐵為催化劑，各種不同有機碳?xì)浠衔餅樘荚?，采用液相注入方法，在高溫氣相化學(xué)熱解制備碳管陣列。以二甲苯為碳源，通過優(yōu)化合成溫度、催化劑濃度和載氣流量等反應(yīng)條件，在H2或Ar/H2氣氛中，能夠在石英襯底上制備出高度為150 μm的多壁碳納米管(MWNTs)陣列。實驗采用雙注射法取代

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