光學(xué)元件表面廣義疵病檢測(cè)系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)與過程管理.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、重慶大學(xué)碩士學(xué)位論文光學(xué)元件表面廣義疵病檢測(cè)系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)與過程管理姓名：任錚申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：機(jī)械設(shè)計(jì)及理論指導(dǎo)教師：謝志江201004重慶大學(xué)碩士學(xué)位論文英文摘要IIABSTRACTLoadcapacityisoneofthesignificantindicatsofhighpowersolidlaserdevices.Accdingtolongtermfielddataresearchitisdemonstratedthat

2、generalizeddefectsonanopticalsurfaceisoneofimptantfactswhichhaveinfluenceontheloadcapacity.Therefetoinspectanalyzethegeneralizeddefectsonanopticalsurfaceistheprerequisitetocontrolthequalityofanopticalcomponentthustoenhan

3、celoadcapacityofdevices.Inthispapermodularizationisusedtostudythedesigndevelopmentofaninspectionsystemfgeneralizeddefectsonanopticalsurface.Aimingatprojectrequirementstousethemodularizationdesignmethodtodevelopacomplexme

4、chatronicmeasurementcontrolsystemisproposed.Thesystemisdecomposedintorelativelyindependentfunctionmodulessometoolsareappliedtomanagethedesignprocess.Therefeusingthesemethodscomplexityuncertaintyinsystemdesigncanbereduced

5、confusioninresearchideasnonstardabilityduringdevelopmenthasbeenavoided.Indertorealizetheinspectionsystemfunctionsfgeneralizeddefectsonapreciseopticalsurfacethestudyfocusedonthefollowingaspects:①BasedonfollowingAxiomaticD

6、esignTheyapplicationofmodularizationthinkingwithDesignStructureMatrixthepaperintroducesatopdownexpansionbasedonoverallobjectivesthroughdemanalysisfunctionalanalysisfunctionalmodelingmodularizationdecomposingsolvingadesig

7、nproposalissuggested.WkBreakdownStructuresareappliedtorepresenttheoverallsystemdesigntaskmodulestocontrolresearchdevelopmentprogress.②Throughdemanalysisfunctionalmodelingwithconsiderationoffunctionobjectivesconstraintsth

8、esystemisdividedintothreefunctionalsubsystemsbymodularizationdecompositionfdetectingobjects.Thereisthevisionsubsystemthemotioncontrolsubsystemtheimageprocessinganalysissoftwaresubsystem.③Basedonfunctionrequirementsconstr

9、aintsfeachmodelilluminationsystemthreedimensionalelectriccontrolmovingwkbenchclampingframearedesigned.Theclosedloopmotioncontrolisachievedbyimplementationofasteppermotalinearscale.ThedefectimagesareacquiredwithaCCDfeatur

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