基于鐵磁薄膜的磁調(diào)帶阻濾波器設計.pdf

1、隨著國際通訊、安全、軍事競爭的日益激烈,各種電子設施要求可以在極端的氣候情況下工作。工作在微波頻段的接收或者發(fā)射機以其可輕易穿越大霧、云層及煙霧等特性,顯示出了可見光及紅外頻段的器件無法比擬的優(yōu)越性,從而被各國研究學者重視。目前,寬帶微波通訊系統(tǒng)中除濾波器外的后端系統(tǒng)都可以集成在單個芯片中,濾波器組的體積已經(jīng)遠大于后端的整個系統(tǒng)。隨著微波通訊頻段的廣泛應用,微波頻段的電磁環(huán)境變的越來越復雜。為了提高微波頻段的通訊質(zhì)量,就需要針對通訊頻段

2、某些信號進行衰減,帶阻濾波器就被廣泛應用在該場合。采用傳統(tǒng)YIG小球技術制成的帶阻濾波器,其體積龐大、不易集成。 本論文旨在研究一種能與單片集成電路技術兼容的薄膜器件(磁調(diào)帶阻濾波器),磁調(diào)帶阻濾波器是指濾波器的阻帶中心頻點可以隨著外部的直流磁場變化而隨之調(diào)諧。磁調(diào)帶阻濾波器基于鐵磁共振原理,采用具有高飽和磁化強度的FeCoB薄膜,外加一個很小的直流磁場就可以工作微波頻段,克服了傳統(tǒng)技術帶阻濾波器需要很大外加直流磁場的缺點。

3、 針對磁調(diào)帶阻濾波器的設計本論文將從三個方面開展工作。第一,進行磁調(diào)帶阻濾波器電路及結構設計分析。對濾波器特性進行研究,設計電路圖形與掩膜板。第二,FeCoB薄膜制備工藝研究。鐵磁薄膜特性直接決定了濾波器品質(zhì),FeCoB薄膜制備以及性能研究是一個研究重點。第三,激勵器及測試平臺的研究與設計。激勵器作為磁調(diào)帶阻濾波器的組成部分,為濾波器工作提供可調(diào)節(jié)的直流磁場。。 通過以上工作,本論文設計實現(xiàn)了一個工作在微波毫米波頻段、中心阻