激光微加工系統(tǒng)研制.pdf

1、激光微加工技術作為激光加工技術的一個新興分支,已被越來越廣泛地應用于精密機械加工、微機械制造等諸多領域.本文對激光微加工系統(tǒng)中各主要部分的研究和設計方法進行了全面的討論,包括激光微加工機的單片機控制器、加工光學系統(tǒng)、PC機監(jiān)控軟件等三部分.此外,還討論了激光微加工系統(tǒng)的整體實現(xiàn)和加工控制方式.激光器輸出的加工光經(jīng)過光學系統(tǒng)的后,形成符合微加工精度和能量密度要求的加工光斑并聚焦于被加工工件的表面.然后,由單片機控制器控制激光器、加工平臺以

2、及輔助系統(tǒng)按照預先設定的加工模式進行加工.在對工件的整個加工過程中,可以通過顯微鏡系統(tǒng)對加工過程進行觀察.由于采用了視頻圖象實時采集技術,還可以通過PC機對加工過程進行監(jiān)視和存儲.在單片機控制器、光學顯微鏡系統(tǒng)和PC機監(jiān)控軟件的配合下,本激光微加工系統(tǒng)實現(xiàn)了一種新的加工控制方式.即通過鼠標在加工區(qū)域的實時視頻圖像上繪制加工圖樣,然后由PC計算機根據(jù)此圖樣自動生成加工控制信息,并通過單片機控制器控制激光微加工機進行加工.此方式不要求用戶事