基于開關電容方式的微加速度計接口電路仿真及研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微加速度計是一類重要而且應用廣泛的微機電器件，其性能的好壞除敏感芯片的設計與加工以外，很大程度上取決于接口控制電路的設計。同時，隨著其應用對象數字化要求的不斷提高，對接口電路在實現信號檢測的過程中，完成信號數字輸出的要求也越來越高。 本文在研究和分析電容式微機械加速度計結構工作原理和數學模型的基礎上，并從微電容檢測原理出發(fā)，著重對信號接口檢測單元電路模塊進行了設計和仿真實驗。提出使用基于開關電容方式下的標準CMOS工藝技術，進行

2、∑-△方式調制解調，檢測電容信號大小變化在PF量級過程中的變量，分析探討對輸入的微弱電容信號大小進行檢測的工作機理。通過Pspice仿真軟件對檢測電路單元主要模塊結構的設計分析和驗證，并對加速度微傳感器中的電容變化量，轉換為數字量信號輸出的幾種準頻率信號的有效性加以比較研究。最后探討通過低通濾波器實現數字信號輸出，為實現對加速度信號的檢測和輸出數字化，對信號取樣電路中的主要子電路進行了一些相應的結構設計，仿真實驗和參數分析。同時對在電路

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